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德國(guó)BMT WLI白光干涉儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 更新時(shí)間:2024-06-21

簡(jiǎn)要描述:采用ACM 600 共焦顯微鏡可對(duì)物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測(cè)量,評(píng)估和顯示。裝配不同的顯微物鏡,測(cè)量視場(chǎng)大小和精度也不同。視場(chǎng)的擴(kuò)展可通過釘合的方式來實(shí)現(xiàn)

產(chǎn)品詳情

采用ACM 600 共焦顯微鏡可對(duì)物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測(cè)量,評(píng)估和顯示。裝配不同的顯微物鏡,測(cè)量視場(chǎng)大小和精度也不同。視場(chǎng)的擴(kuò)展可通過釘合的方式來實(shí)現(xiàn)。 
ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤,使采集的單個(gè)測(cè)量點(diǎn)相互平行。ACM 600目前是*商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤的儀器。與尼普科夫掃描盤相比,微透鏡掃描盤使光學(xué)系統(tǒng)反應(yīng)快速,所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測(cè)量結(jié)果。它的另外的*之處在于采用了LED作為光源,避免了使測(cè)量頭發(fā)熱,因而它的壽命幾乎可以視為無限長(zhǎng)。儀器配備了物鏡切換盤,可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。
檢測(cè)物件的設(shè)定和測(cè)量全過程可以通過一個(gè)獨(dú)立的監(jiān)視器觀察。測(cè)量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制,并提供所有標(biāo)準(zhǔn)的評(píng)估程序。 
儀器結(jié)構(gòu)緊湊,耐用,特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤自動(dòng)伸出后,儀器可作為普通的顯微物鏡使用。

 

主要用途:
◆  粗糙和光滑表面的測(cè)量和顯示
◆  亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測(cè)量
◆  金相測(cè)量
◆  非接觸式表面輪廓的計(jì)量

主要特點(diǎn)
◆  0,1mm2到0,7mm2視場(chǎng)
◆  采用釘合方式擴(kuò)大視場(chǎng)
◆  配置物鏡切換盤
◆  確定垂直分辨率來設(shè)定測(cè)量時(shí)間
◆  橫向分辨率可達(dá)1祄,垂直分辨率zui高可到5 nm 
◆  具有采用微透鏡掃描盤的快速光學(xué)系統(tǒng)
◆  全自動(dòng)數(shù)據(jù)評(píng)估
◆  實(shí)驗(yàn)室和在線兩用設(shè)計(jì)

主要優(yōu)點(diǎn):
◆  高保真輪廓復(fù)現(xiàn),對(duì)物體三維結(jié)構(gòu)快速,非接觸式的定性和量化
◆  測(cè)量結(jié)果與材料表面性能無關(guān)
◆  根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
◆  無人干預(yù)全自動(dòng)測(cè)量過程
◆  將微透鏡掃描盤自動(dòng)伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
◆  采用壓電驅(qū)動(dòng)或步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行垂直掃描

軟件:
◆  Windows XP 操作系統(tǒng)
◆  測(cè)量和評(píng)估軟件包括下列功能:  水平調(diào)整,圖像縮放, 輪廓線的提取,毛刺的剔除, 過濾,  數(shù)學(xué)計(jì)算,F(xiàn)FT,ACF,2D/3D 粗糙度參數(shù),面積的測(cè)定, 斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。 
◆  用戶特定要求的計(jì)算方法


 

技術(shù)數(shù)據(jù):


共焦顯微鏡頭
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格配置50x/0.8物鏡
帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器
光源
LED
壽命 h
> 50,000
采用步進(jìn)電機(jī)時(shí)的測(cè)量范圍mm
50
采用壓電執(zhí)行器件時(shí)的測(cè)量范圍µm
100/150
zui高垂直分辨率 nm
5
zui高橫向分辨率µm
1
工作距離mm
0.66
視場(chǎng)µm
370 x 280
256個(gè)高度臺(tái)階的測(cè)量時(shí)間s
約 30
重量kg
約12  
測(cè)量工作臺(tái) 
 
X、Y、Z每軸位移mm
50
zui小步距µm
1

 

 

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